净化车间空气洁净度检测方法介绍

　　净化车间主要之作用是控制产品（如硅芯片等）所接触的大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间。按照惯例，无尘车间净化主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，净化车间无尘是必然的要求。

　　净化车间空气洁净度检测方法：

　　光散射颗粒计数法适用于对粒径大于或等于0.5微米的尘埃颗粒进行计数。计算粒径大于或等于5微米的灰尘颗粒。也可以使用薄膜显微镜计数法。光散射粒子计数法；

　　1、光散射粒子计数器的采样量为100级：每次采样量大于等于1升。级别1000-级别10000：每个取样量大于或等于0.3升。级别100000：每个取样量大于或等于0.1升。对于100级，应使用大型流量粒子计数器进行测试。如果条件不满足，可以使用每次取样量不小于1升的颗粒计数器。

　　2、测量点的布局

　　(1)测试应在清洁的工作区域进行。当生产过程没有特殊要求时，取样高度应离地面1米。

　　(2)层流测量点的总数不得少于20个，测量点之间的间距为0.5~2.0米，粒径大于等于0.5微米的尘粒数不得超过一个点。水平层流测量点仅布置在一清洁工作区。

　　(3)可在5个测量点测量湍流，清洁面积小于或等于50平方米。每增加20-50平方米，增加3-5个测量点。

　　净化车间空气洁净度检测一般在清洁空调系统完成，清洁空调系统正常运行，且不需要工艺设备和生产人员的情况下在室内进行。选择清洁工作区工作位置代表性测量点的气流逆风方向。值得注意的是，在测试仪器稳定运行的情况下，每个测量点的数据排序应连续采样三次，平均值应为该点的测量值。